청정실 (Cleanroom) 분류

천정에 필터가 장착된 청정실 정밀 측정 공구가 있는 청정 부스 

청정실 (Cleanroom) 분류

아래는 각 규격에 따른 분류이다. class 나 grade 로 분류되며 ISO 규격의 경우는 ISO 다음에 번호가 붙는다. class 숫자가 작을수록 (grade의 경우는 알파벳이 A에 가까울수록-학점이랑 비슷하다...) 깨끗한 청정실이다. 

US FED STD 209E cleanroom standards

Class	maximum particles/ft3					ISO equivalent
	≥0.1 µm	≥0.2 µm	≥0.3 µm	≥0.5 µm	≥5 µm
1	35	7.5	3	1	0.007	ISO 3
10	350	75	30	10	0.07	ISO 4
100	3,500	750	300	100	0.7	ISO 5
1,000	35,000	7,500	3000	1,000	7	ISO 6
10,000	350,000	75,000	30,000	10,000	70	ISO 7
100,000	3.5×106	750,000	300,000	100,000	700	ISO 8

ISO 14644-1 cleanroom standards

Class	maximum particles/m3						FED STD 209E equivalent
	≥0.1 µm	≥0.2 µm	≥0.3 µm	≥0.5 µm	≥1 µm	≥5 µm
ISO 1	10	2.37	1.02	0.35	0.083	0.0029
ISO 2	100	23.7	10.2	3.5	0.83	0.029
ISO 3	1,000	237	102	35	8.3	0.29	Class 1
ISO 4	10,000	2,370	1,020	352	83	2.9	Class 10
ISO 5	100,000	23,700	10,200	3,520	832	29	Class 100
ISO 6	1.0×106	237,000	102,000	35,200	8,320	293	Class 1,000
ISO 7	1.0×107	2.37×106	1,020,000	352,000	83,200	2,930	Class 10,000
ISO 8	1.0×108	2.37×107	1.02×107	3,520,000	832,000	29,300	Class 100,000
ISO 9	1.0×109	2.37×108	1.02×108	35,200,000	8,320,000	293,000	Room air

BS 5295 cleanroom standards

	maximum particles/m3
Class	≥0.5 µm	≥1 µm	≥5 µm	≥10 µm	≥25 µm
Class 1	3,000		0	0	0
Class 2	300,000		2,000	30
Class 3		1,000,000	20,000	4,000	300
Class 4			200,000	40,000	4,000

GMP EU classification

Class	maximum particles/m3
	At Rest	At Rest	In Operation	In Operation
	0.5 µm	5 µm	0.5 µm	5 µm
Grade A	3,520	20	3,520	20
Grade B	3,520	29	352,000	2,900
Grade C	352,000	2,900	3,520,000	29,000
Grade D	3,520,000	29,000	n/a	n/a

청정실 관련 자료 정리가 잘된 곳 (국내업체) 

http://www.wooleeeng.co.kr/