파티클 카운터 (particle counter)

파티클 카운터 (particle counter)

입자 (파티클, particle) 의 개수와 크기를 계측하는 기기이다. 측정원리상 한번에 하나의 입자를 센다. 

반도체 제조공정, 바이오분야, 제약, 하드디스크, 항공우주 분야와 같이 높은 청정도가 요구되는 분야에서 많이 사용된다.

측정원리는 빛의 산란 등을 이용한다. 

측정하는 매질에 따라 크게 아래와 같이 분류된다.

기체 (예. 대기) 중 입자 카운터 (aerosol particle counter)

액체 입자 카운터 (liquid particle counter)

고체 입자 카운터 (solid particle counter)

설비에 장착하여 원격으로 측정하는 경우, 매니폴드에서 측정하는 경우, 포터블로 들고 다니면서 측정하는 경우가 있다.