전기 유압식 서보 밸브 (servo valve)
전기유압식 서보 밸브 (electrohydaulic servo valve, EHSV) 이다.
전기적으로 구동되는 밸브이며 유압 유체 (혹은 작동 유체) 를 구동기로 보내는 것을 제어한다. 쉽게 말해 유압으로 구동되는 구동기를 제어하는 밸브이다.
주로 힘이 많이 소요되는 유압 실린더 (구동기의 일종)를 아주 작은 전기적인 신호로 제어할 때 사용한다. 산업적으로도 많이 쓰이고 항공기 같은 곳에도 사용된다.
서보 밸브는 위치, 속도, 압력, 힘을 정확히 제어할 수 있다.
제어
서보 밸브는 높은 압력의 유압 유체를 다른 소스로부터 공급 받아야 한다 (즉 전기적으로는 밸브 혼자 유체를 가압하는 것은 아니다). 밸브가 받는 전기적인 신호에 비례하여 유압 실린더와 같은 구동기로 작동 유체를 보낸다.
경우에 따라 유압 실린더의 위치나 힘의 피드백제어를 위해 서보 밸브가 사용되는 경우가 있다 (물론 이경우에는 위치나 힘을 측정해야 된다).
대부분의 서보 밸브는 ON/OFF 방식이다.
상용 밸브
아래는 MTS (좌, 인장시험 장비 만드는 바로 그회사)와 MOOG (유명한 밸브 회사) 라는 회사의 서보 밸브이다.
참고문헌
https://en.wikipedia.org/wiki/Electrohydraulic_servo_valve
http://www.mts.com/cs/groups/public/documents/library/mts_006302.pdf
http://www.moog.com/content/dam/moog/literature/ICD/Valves-Introduction.pdf
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